發布時間:
2025
-
09
-
03
來源:
1296
集中供真空系統方案設計：基于多行業實踐的模塊化架構與智能控制策略一、核心設計原則模塊化架構采用“預抽-高真空-低溫”三級功能分區，通過羅茨泵、螺桿泵、分子泵等設備組合實現梯度抽氣。例如半導體制造中，L/L腔（進出樣品腔）采用多級羅茨泵預抽，工藝處理腔配置羅茨+爪式干泵，分子泵與干泵聯用實現低壓高抽速。智能動態調控集成PLC或DCS系統，實時監測真空度、溫度、壓力等參數，結合變頻控制技術自動調節泵組轉速。以鋰電池生產為例，干式螺桿真空泵組通過自動化控制滿足注液、烘烤工序的差異化真空需求，能耗降低30%-50%。安全冗余設計關鍵部件配置備用泵（如50臺CNC玻璃精雕機改造方案中預留1臺備用螺桿泵），管道采用環狀管網布局避免單點故障，電動球閥支持遠程控制實現按需供氣，減少無效抽真空時間。二、關鍵設備選型與配置設備類型適用場景技術參數典型案例螺桿真空泵玻璃粉塵、切削液等顆粒物處理過濾精度0.05μm，支持全自動切削液過濾，單臺流量適配10-15臺設備50臺CNC玻璃精雕機改造項目，配置4-6臺螺桿泵+2-3m³緩沖罐羅茨泵大工藝腔體預抽真空多級結構提升真空度，常與螺桿泵或爪式泵組合半導體L/L腔多級羅茨泵預抽，工藝腔羅茨+爪式干泵組合分子泵高真空度需求（達10?? Pa）與機械泵聯用提升抽速，磁懸浮分子泵壽命長半導體工藝處理腔分子泵+干泵組合，實現低壓下高抽速低溫泵超高真空環境（達10?¹² Pa）利用低溫冷凝原理，無油污染，但成本高電子束設備中低溫泵與擴散泵、羅茨泵配合，實現高真空冷卻三、系統布局與優化策略管道設計材質選擇：不銹鋼或PVC-U管，主管道直徑≥100mm，分支管道≥50mm，確保流速≥15m/s以減少沉積。布局優化：采用環狀管網設計，管道坡度≥1%便于排水，分支管道配置獨立電動球閥實現分時控制。防泄漏措施：管道連接處采用雙組份環氧密封膠...